
СВВ система ФЭСУР
![]() |
---|
Описание
Система фотоэлектронной спектроскопии сверхвысокого углового разрешения (ФЭСУР).
Система передачи:
Держатель образца вида “Flag”
Конфигурация системы:
Аналитическая камера с двойным мю-металлическим вкладышем гарантированное остаточное магнитное поле ниже 0,1 микроТесла и диапазон базового давления 5 * 10E-11 мбар включает в себя:
-
Манипулятор закрытого цикла с высоким разрешением, охлаждение жидким гелием (температура на образце до 15K) – полностью моторизирован.
-
Оптимизированный для чрезвычайно требовательных приложений, высокоточный электронный анализатор ФЭСУР
-
Монохроматический УФ-источник для измерения УФЭС с специальной системой откачки
- Камера загрузки позволяет загружать до 12 держателей образцов
-Камера подготовки, установленная на верхней части аналитической камеры, которая позволяет использовать один манипулятор для обеих камер, включает:
-
Источник ионов для очистки образца
-
Систему измерения скорости осаждения: Кварцевые микровесы и датчик толщины
-
Эффузионная ячейка (золото)
-
ДМЭ с многоканальной пластиной для измерения ДМЭ / ОЭС
- Камера хранения для 12 держателей образцов
- Радиальная распределительная камера для передачи образцов
- Аксессуары:
-
Набор специализированных многофункциональных держателей образцов для разных материалов
-
Специальная стойка для всего блока электроники
-
Специальная система отжига