Описание

ВВ система напыления, предназначенная для методов: магнетронное распыление постоянного тока, РЧ магнетронное распыление, реактивное распыление и испарение с использованием электронного пучка.

​

Конфигурация системы:

• Камера напыления с базовым диапазоном давления <3 * 10E-7 мбар, изготовлена из нержавеющей стали, с дверным доступом.

• Камера оснащена двумя 3-дюймовыми магнетронными источниками (DC, RF) и 6-карманным электронно-лучевым испарителем.

• Электронные шкафы со встроенным компьютерным блоком (с сенсорным экраном) и специальным программным обеспечением.

• Основные функции программного обеспечения:

• - Полный контроль над системой осаждения

• - автоматический, ручной и программируемый таймер для эффективного управления затвором

• - отображение состояния системы

• - Быстрый просмотр данных в реальном времени

• - сбор данных в реальном времени (интеграция с системой сбора данных LIMS)

• Система трансфера: держатели образцов до 6 дюймов