О Компании

Система напыления с полностью автоматизированным управлением 

Описание

ВВ система напыления, предназначенная для методов: магнетронное распыление постоянного тока, РЧ магнетронное распыление, реактивное распыление и испарение с использованием электронного пучка.

Конфигурация системы:

  • Камера напыления с базовым диапазоном давления <3 * 10-7 мбар, изготовлена из нержавеющей стали, с дверным доступом.

  • Камера оснащена двумя 3-дюймовыми магнетронными источниками (DC, RF) и 6-карманным электронно-лучевым испарителем.

  • Электронные шкафы со встроенным компьютерным блоком (с сенсорным экраном) и специальным программным обеспечением.

  • Основные функции программного обеспечения:

  • - Полный контроль над системой осаждения

  • - автоматический, ручной и программируемый таймер для эффективного управления затвором

  • - отображение состояния системы

  • - Быстрый просмотр данных в реальном времени

  • - сбор данных в реальном времени (интеграция с системой сбора данных LIMS)

  • Система трансфера: держатели образцов до 6 дюймов