Описание

032 PRIMS - это простая система для воспроизводимого нанесения тонкопленочных слоев. Оборудована источниками магнетронного распыления - распыление вниз, DC блоком M600DC-PS поддерживающем до 3 источников. Мощность блока (600 Вт) может быть увеличена до 2400 Вт.
Стол может вместить подложки диаметром до 2 дюймов (возможность нагрева и вращения). Полноразмерная дверь обеспечивает легкий доступ к
внутренней части камеры. Система оснащена турбомолекулярным насосом с ручным дроссельным клапаном. Доступна специальная система проверки скорости осаждения.

​

▪ Диаметр камеры: Ø 355 мм,
▪ Порты для подключения трех 2" магнетронов,
▪ Базовое давление порядка 10E-7 мбар,
▪ Стол для подложек размером до 2 дюймов,
▪ Полноразмерная дверь,
▪ DC блок с системой переключения.

Опции:

▪ Нагрев подложки до 600 °C,
▪ Вращение образца/подложки,
▪ Измерение скорости осаждения,
▪ Совместное осаждение.

​