Электронно-лучевой испаритель EBV 40A1
 |
|---|
 |
 |
Опции
-
Индивидуальная длина вакуумной части
-
С встроенным ручным / электропневматическим затвором или без него
-
Линейный сдвиг
-
Тигли
Описание
Электронно-лучевой испаритель EBV 40A1 предназначен для сверхчистого субмонослойного и многослойного тонкопленочного роста методом молекулярно-лучевой эпитаксии. Четко определенный испаряемый пучок означает очень однородное осаждение на образце, площадь осаждения определяется расстоянием от испарителя до образца и выбором одного из легко заменяемых выходных отверстий. Возможность выбора ручного или автоматического затвора, длины вакуумной
части 190 - 345 мм (другая по запросу).
Особенности
-
Ручной или электропневматический затвор, встроенный датчик потока
-
W/Th - катод для испарения материала из стержня или из небольшого проводящего тигля
-
Широкий диапазон сменных выходных отверстий
-
Встроенное водяное охлаждение
-
Подходит для различных материалов
-
Уникальная конструкция с высокой надежностью
-
Чрезвычайно высокая удельная мощность
Технические характеристики