Описание

Ключевой особенностью EBV40A является встроенный монитор потока. Поток испаряемого вещества косвенно контролируется с помощью ионного тока, обеспечивая точную регулировку потока и более быстрое управление скоростью осаждения. Коллектор ионов находится в выходной колонне пучка. При заданном токе электронной эмиссии и энергии пучка детектируемый поток ионов прямо пропорционален потоку испаренных атомов. EBV40A-PS оснащен встроенным ПИД-регулятором, который поддерживает поток испаряемого вещества на требуемом уровне. Устройство может работать в режиме AUTO (с управлением ионным потоком) или в режиме МАNUAL. 

​

Применение

EBV40A-PS управляет электронно-лучевым испарителем EBV40A для сверхчистого субмонослойного и многослойного роста в приложениях молекулярно-лучевой эпитаксии.

​

Опции

• П.О. (Version Pro, Extended или Library Module)

​