О Компании

Система напыления с прямым доступом

Описание

Система представляет собой универсальный инструмент, предлагающий гибкость методов осаждения на одной платформе. Она сконфигурирована так, чтобы обеспечить быстрое и простое изменение между многоцелевым напылением или испарением с несколькими источниками с гарантированным базовым давлением в диапазоне 10-8 мбар.

Спецификация:

​Уникальной особенностью этих систем является то, что нижний фланец камеры спроектирован таким образом, что его можно без труда сменить на другую конфигурацию (с использованием источников теплового напыления, напыления электронным лучем или комбинированного). Многопозиционная система, которая идеально подходит как для мелкосерийного производства.

Поддерживаемые конфигурации:

 

  • Тепловые испарители

  • Магнетронный источники

  • Тигли

  • Различные комбинации

 

Все источники могут быть оснащены встроенными ручными или автоматическими задвижками, а система имеет множество смотровых окон.

Камера оснащена большой, легкодоступной вакуумной дверью, на двойном витоне с дифференциальной откачкой уплотняющего пространства. Система использует эффективное водяное охлаждение с двойными стенками.

При стандартной настройке камера оборудована для работы с несколькими образцами. Дополнительный манипулятор с интегрированным нагревом и охлаждением образца.

Камера имеет выделенные запасные порты для:

  • Ионного источника

  • Монитора толщины,

  • Анализатора остаточных газов

  • Камера загрузки с передачей

  • Дозирования газа

Система поставляется со всеми необходимыми источниками питания и блоками управления в автономном шкафу.